工业型原子力显微镜

产品优势

◆ 国内首先实现商业化生产的大尺寸工业型原子力显微镜；

◆ 扫描图像时样品保持不动，驱动探针进行XYZ三维移动测量成像；

◆ 样品尺寸、重量几乎不受限制，特别适合晶圆、光学玻璃等大样品检测；

◆ 样品台可拓展性强，非常便于进行多仪器联用实现原位检测；

◆ 一键式自动扫描，可任意编程多个测试点实现快速自动化检测；

◆ 龙门架式扫描头设计，大理石底座，真空吸附式载物台；

◆ 马达自动控制加压电陶瓷自动探测的智能快速进针方式，保护探针及样品；

◆ 一体化的机械振动减震及环境噪音屏蔽解决方案，极大降低系统噪音水平；

◆ 扫描器非线性校正用户编辑器，纳米表征和测量精度优于98%。

技术参数

应用案例