以亚纳米分辨率实现晶圆表面粗糙度精准检测，完成器件关键尺寸计量、纳米级缺陷表征与失效分析，探测掺杂分布等电学特性，助力半导体工艺优化与器件良率提升。

直观呈现材料纳米级形貌，助力材料、物理、生物等学科的基础研究，让学生掌握纳米尺度表征方法，培养微观领域科研思维与实验操作能力。

以无标记、高分辨率实现细胞形貌、生物膜结构的精准观测，分析生物分子间作用力与蛋白构象变化，助力病理机制研究、生物材料表征及新型医用器件的研发与性能检测。

实现各类材料表面纳米级形貌、粗糙度精准分析，检测材料力学、电学等微观性能，助力新型功能材料的结构表征、性能研究与改性优化，为材料研发提供关键微观数据支撑。