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样品检测实例——微结构阵列晶圆片

栏目：企业新闻 发布时间：2022-12-14

样品名称：四英寸微结构阵列晶圆片

测试要求：表面三维形貌及尺寸测量

 

1. 样品一，扫描范围 40*40um

 

 此处微结构阵列高度差约为 1.236nm

 

2、 样品一，扫描范围 20*20um

 

此处微结构阵列高度差约为 1.229nm


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